非接触式检测技术研究测量显微镜对象（之二）
这种技术在国外，已经尝试将非接触式技术使
用在对现场加工的试样进行测量，其在理论方面
使用了光学原理，还包括了反射和散射光的作
用，等等多种现象的介绍，
首先，光干涉法，其所借助的就是光学干涉原
理方面的一种测量技术，在国内清华大学的教授
，也提出过不一样的原理，
如：可以采用被侧表面的激光反射图，将其暗
区通过使用表面粗糙度，进行实时的测量，
我国对长城的计量测试，使用的技术是扫描测
量技术，通过自动图像的处理系统，然后借助干
涉显微镜中多得到的干涉图像，再进行自动分
析和检测，
这样的技术，不仅在检测速度方面得到了提高，
而且对干涉图像的判读分辨率也有了一定的提高，
这样的技术，在超精加工的产品进行检测中提
供了重要的手段。
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